Машина для утонения пластин из карбида кремния в основном используется для утончения материалов подложки, таких как кремниевые пластины, арсенид галлия, керамика из карбида кремния, керамика из диоксида циркония, графит, танталат лития и так далее.
Высокоточные вертикальные шлифовальные станки для пластин могут шлифовать полупроводниковые материалы третьего поколения, такие как SiC, GaN, GaAs, Si, ZnO. Серия DL-GSD представляет собой самодельный шлифовальный станок в Китае, производительность которого соответствует мировому стандарту.